molbox1+ 流量测量主机
主要特性
- 最低的气流校准不确定度读数为读数的 ±0.125%。
- 与 molbloc-L 和 molbloc-S 流量元件相结合,可对各种流量测量设备进行精确校准。
- 非常适合校准 1 sccm 至 6000 slm 范围内的几乎任何类型的气体流量测量设备。
- 支持在高压下使用,扩展了可用流量范围。
- 实时测量,并通过不同气体和工作压力下的可溯源校准获得支持。
产品概述: molbox1+ 流量测量主机
特性一览
molbloc-L 与 molbloc-S 元件的在对质量流量测量进行高级校准时不确定度仅为读数的 ±0.125%。
- molbox1+S 的配置拥有超强的 molbloc-S 可调量程,无需使用真空泵
- 现在请在相同气体的高低压应用中使用任意 molbloc 元件
- 内部气动设计
- 全套软件自动化产品与硬件附件带来完整的气流校准系统 — 包括全新的 COMPASS® for Flow 校准辅助软件
不确定度参数
molbox1+ 的创新性让 molbloc/ molbox1+ 系统实现了低的气流测量不确定度。多个关键点的改善让更低的不确定度成为可能,包括:
- 使用福禄克计量校准部专有的石英参考级压力传感器 (Q-RPT) 技术来精确测量绝压和差压。molbox1+ Q-RPT 是根据福禄克计量的校准部压力传输标准在相同技术下专门定做的传感器。
- 高级 molbloc 校准作业能够使 molbloc 流量输出线性化,从而更好地获取准确度和可溯源性。
- 扩展 molbloc 模式化可提高 molbloc-L 层流元件在工作压力量程内的性能。
- 利用 NIST 参考液体热动力与输送属性数据库 (REFPROP) 来降低气体属性的不确定度。
- 使用福禄克计量校准部的动态重力流量标准来进行基础质量与时间质量流量测量,并以此基础不断改善福禄克计量校准部的 molbloc 校准链。
现有两种等级的 molbloc 流量元件校准作业,方便您平衡不确定度和成本要求:
- 高等级:流量测量不确定度为读数的 ±0.125%(带 molbox1+)
- 标准等级:流量测量不确定度为读数的 ±0.2%(带 molbox1 或 molbox1+)
全新 molblocs 则配套以上两种校准等级类型。现有 molblocs 可兼容不确定度为 ±0.2% 读数的 molbox1+,无需作出任何调整。原有 molblocs 的升级服务可方便适配高级校准和测量,详见以下说明。
福禄克计量校准部的不确定度参数较为保守,而且也进行过不确定度分析和计量支持。福禄克计量校准部的创新与设计仍将继续以确保产品能够为用户在实际应用而不是假设环境下实现参数功能作为目标。
molbox1+S 音速喷嘴校准设备扩展了量程可调性,不含真空泵的 molbox1+S 是 molbox 1+ 的特定配置,使您能够使用 molbloc-S 音速喷嘴流量元件来覆盖更大量程(10:1 调节),而且无需配备昂贵的真空泵。molbox1+S 音速喷嘴校准设备配套上游 Q-RPT 压力量程,最高可达 2 MPa (300 psia),可在大气压下(常规应用)在要测试的流量计的宽流量量程上游轻松使用 molbloc-S 元件。更广的可调量程将使用更少的 molbloc 元件和附件,令校准系统配置变得更简单。而且在增加高压 molbloc 校准时还能大大拓展您原有 molbloc-S 元件的量程。
常压下测试设备时 molbloc-S 的量程举例
Molbloc-S 元件 | 配合 SP 校准和 molbox1 A700K 的可用量程 | 配合 HP 校准和 molbox1+S A2M 的可用量程 |
1E2-S | 15 到 50 slm* | 20 到 200 slm* |
5E2-S | 67 到 250 slm* | 100 到 1000 slm* |
*在用于常压下设备上游时,配合 SP 校准下 molbloc-S 的可用流量受到音速流背压要求所限制。流量值单位为标准升/分钟,参考温度 0℃。
molbox1+S 设计用于与 molbloc-S 音速喷嘴校准设备配合使用,因此仅针对绝压测量进行配置,从而降低了成本。它还可降低流量系统的复杂性和总成本以及持续反复校准成本。
在多种应用中使用相同的 molbloc
多重 molbloc 校准作业现在可支持各类气体。这就意味着您现在可以分别校准 molbloc 以便在高压(受测设备上游)和低压(受测设备下游)下使用,从而支持不同应用类型,无需再使用两台 molbloc 或手动加载不同 molbloc 校准文件。所有校准情况均保存在 molbloc EEPROM 当中,用户只需从 molbloc+ 前面板中或通过 molbloc+ 远程接口选择校准类型即可。
用于 molbox 的 COMPASS® 以及全新的 COMPASS® for Flow 软件带来了自动化和更多性能
COMPASS 校准辅助软件让 molbloc/molbox 朝自动化校准又迈进了一步。COMPASS 与个人计算机配合 molbloc/molbox 开展工作,为流量设备的校准和测试创造了现代化全功能统包式系统。
COMPASS 负责设定受测设备 (UUT) 记录(或者受测单元),定义并协助受测设备的测试进程、运行测试、采集参考值和测试数据、提供标准并自定义校准报告。质量流量设备的气体纠正因素和体积测定设备如转子流量计的气体密度纠正能够轻松获得支持,还可以选择使用压力和温度测量的自动输入压力来动态计算和纠正流量。所有参考值、DUT 以及测试数据都会收集并存储在标准限定文件当中,方便轻松下载到其他应用程序内。
COMPASS for Flow 作为新款软件,为流量校准作业带来了原先只有福禄克计量校准部 COMPASS for Pressure 所能提供的特性。这些特性包括:
- 向福禄克 MET/TRACK® 软件导出数据。
- 为需要自定义计算输出指示的受测设备带来增强型支持,一次提供特别通讯支持和多设备校准功能。
- 支持宏命令以应付几乎无限制的测试系统自动化。
- 对附件设备如 MFC-CB(DHI 质量流量控制器控制箱)更完整更灵活的支持。
升级轻松
从 molbox1 升级到 molbox1+ 既经济又简便。可在福禄克计量校准部的菲尼克斯工厂进行软硬件升级。为升级并获取 molbox1+ 的全新参数性能与特性,福禄克计量校准部会为您的系统进行如下步骤的处理。
- 变更 molbox1+ 软/硬件 可变更任何需要的部件来让您的 molbox 完完全全等同于工厂生产的 molbox1+ 设备。molbox 内置软件刷写至 6.0版。提供给您两种选择:升级原有 molbox1 以满足 molbox1+ 的参数性能,或以旧换新购入全新 molbox1+,可对部分关键部件进行再利用,以此节降成本。
- molbox1 内部压力变送器的 Q-RPT 特性指标。原有两款内部压力传感器可在新的 molbox1+ 中使用。变送器的广泛特性提高了自身的准确度并确保其符合 molbox1+ 的参数性能。
- molbloc 硬件升级。molbloc-L 或 molbloc-S 元件与 molbox1+ 一同使用需要对硬件进行修整以支持高级不确定度参数性能和新的数据结构。
- 新的 molbloc 气体校准。molblocs 已经全模式化并已经根据硬件升级要求进行校准,从而令用于 molbox1+、福禄克计量校准部改善型校准链已经全新 molbloc 线性度和模式技术的增强式气体属性数据突显优势效益。
我们会对整个系统进行升级并送还到您手上,并附带参数性能与校准证书。新系统所占用的成本微乎其微。
产品规格: molbox1+ 流量测量主机
常规参数 | |
电源要求 | 85V ac 到 264V ac, 47 Hz 到 440 Hz, 最大功耗 18 VA |
标称工作温度量程 | 15℃ 到 30℃(59℉ 到 86℉) |
储存温度量程 | -20℃ 到 70℃(-4℉ 到 158℉) |
震动 | 符合 MIL-T-28800D 标准 |
重量 | 最大 6.8 kg (15 lb) |
尺寸(宽 x 高 x 厚) | 约 32 cm x 12 cm x 30 cm (12.6 in x 4.7 in x 11.8 in) |
通讯端口 | RS-232 (COM1), RS-232 (COM2), IEEE-488.2 |
压力连接(molbox1+ 与 molbloc) | 快速连接口,等同于 Swagelok® QM 串口 (SS-QM2-B200) |
流量量程 | <1 sccm 到 >5000 slm 请参见 molbloc-L 与 molbloc-S 的不同量程表 |
流量测量速率 | 1 秒 |
支持气体 (请咨询您的销售代表以获取出厂 molbloc 校准的最新气体列表。) |
氮气 (N2)、空气、氩气 (Ar)、一氧化碳 (CO)、氦气 (He)、氧气 (O2)、二氧化碳 (CO2)、四氟化 (CF4)、乙烷 (C2H6)、乙烯 (C2H4)、三氟甲 (CHF3)、六氟代乙烷 (C2F6)、氢气 (H2)、甲烷 (CH4)、一氧化二氮 (N2O)、丙烷 (C3H8)、六氟化硫 (SF6)、丁烷 (C4H10)、氟环丁烷 (C4F8)、氙气 (Xe) |
驱动阀选件 | (8) 12 V 输出 各项输出可在 12 V 时下降 500 mA,最大 1 A |
MFC 控制选件(模拟输入/输出) | 额定电压量程: 0V dc 到 6V dc 输入 0V dc 到 5V dc 输出 额定电流量程: 4 mA 到 20 mA 输入 4.01 mA 到 20 mA 输出 准确度: ±0.1% FS(设定)、±0.05% FS(测量) |
压力测量 | |
类型 | Q-RPT 特性石英参考级压力变送器 — 使用如下机械摆动石英晶体 |
校准压力量程(全刻度) | A700K:0 到 600kPa 绝压(0 到 87 psia) A350K:0 到 300kPa 绝压(0 到 44 psia) S A1.4M(仅 molbloc-S):0 到 1.2 MPa 绝压(0 到 174 psia) S A2M(仅 molbloc-S):0 到 2 MPa 绝压(0 到 290 psia) |
测量不确定度(一年内) | 绝压 4 ±(读数的 0.01% 或 Q-RPT 范围的 0.003%,取较大值) 差压(A700K 带包装) ±(8.4 Pa (0.0012 psi) 或 0.032% ΔP,取较大值) 差压(A350K 带包装) ±(4.2 Pa (0.0006 psi) 或 0.026% ΔP,取较大值) |
温度测量 | |
类型 | 带 molbox1+ 电阻测量系统的 molbloc PRT |
量程 (FS) | 0 到 40℃ |
分辨率 | 0.01 °CC |
molbloc PRT 精度 | ±0.02℃(15 到 30℃) |
板载 | 参考电阻器 100 和 110 Ω ± 0.01%,稳定性 < 25 ppm/年 电阻测量 读数的 ± 0.02%(15℃ 到 30℃) |
流量测量 | ||
molbloc-L 层流元件 | ||
标准 molbloc 校准 | 高级 molbloc 校准 | |
范围 | molbloc 全刻度的 0 到 100% | molbloc 全刻度的 0 到 100% |
分辨率 | 0.0015 % FS | 0.0015 % FS |
精度 1 | 读数的 ±0.07% 10% FS 下为 ±0.007% FS |
读数的 ±0.07% 10% FS 下为 ±0.007% FS |
稳定性(一年内)2 | 读数的 ±0.09%, 10% FS 下为 ±0.009% FS |
读数的 ±0.03% 10% FS 下为 ±0.003% FS |
测量不确定度 3 (使用 molbloc 进行校准的任意气体) |
读数的 ±0.2% 10% FS 下为 ±0.02% FS |
读数的 ±0.125% 10% FS 下为 ±0.0125% FS |
带 molbloc-S 音速流元件 | ||
标准 molbloc 校准 | 高级 molbloc 校准 | |
范围 | molbloc 全刻度的 10% 到 100% | molbloc 全刻度的 10% 到 100% |
分辨率 | 0.0015 % FS | 0.0015 % FS |
精度 1 | 读数的 ±0.06% | 读数的 ±0.06% |
稳定性(一年内)2 | 读数的 ±0.05% | 读数的 ±0.03% |
测量不确定度 3 (使用 molbloc 进行校准 的任意气体) |
读数的 ±0.2% | 读数 4 的 ±0.125% |
2 稳定性:典型 molbox 和 molbloc 在典型环境下使用时特定时间段内从零到范围值的最大变化情况由于稳定性可以预测,特定 molbox 与 molbloc 的稳定性可以根据经验进行判断。
3 测量不确定度:molbox1+ 流量指示值与流经 molbloc 的流量真值的最大偏移量,包括精度、稳定性和福禄克计量校准。对于不确定度的完整说明请参见技术说明 2011TN06B UNCERTAINTY ANALYSIS FOR FLOW MEASURED BY molbloc-L AND molbloc-S MASS FLOW TRANSFER STANDARDS(molbloc-L 与 molbloc-S 质量流量传输标准所测量出的流量的不确定度分析)
4 正常使用 Autozero(自动清零)功能。对于一年不使用 Autozero 功能的情况,需在 Q-RPT 范围内再增加 0.005%(即 molbloc-S 的 0.005% FS,对 molbloc-S 标准校准或 molbloc-L 不确定度影响不大。)
所有不确定度参数报告均为 k=2